真空オーブン（三段棚）
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3段上下の棚からなる真空オーブンは、リチウムイオンバッテリーの電極、電池コア、機器の焼成に適します。占有スペースが少なく、３つの独立した乾燥工程は同時に実行されます。少量から大量生産にも適したオーブンです。
真空オーブンは片開き、両扉の設計ができます。また観察窓、高温のアルミ扉はオプション設計です。
3段棚の真空オーブン
| 型番 | 温度範囲（℃） | 温度変動(℃) | 加熱力(kW) | 電圧(V ) | 真空度（Pa） | 空気の漏れ（kPa/h） | 内寸 H×W×D (mm) | 外形寸法 H×W×D (mm) |
| SBVO-3 | 室温～200 | ±1.0 | 4.5×3 | 380 | 100 | ≤1.0 | [300×800×600]×3 | 2100×1320×890 |
| SBVO-3D | 1840×1310×712 |
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