Low-Eガラスコーティング機
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当社の建築ガラス用成膜装置は、主に基質となる材料に異なる種類を用い、マグネトロンスパッタリング方法を使用します。Low-Eコーティングガラス、太陽光制御ガラス、ARフィルムなどを処理します。
主な仕様
- 基板サイズ: 最大 3300 × 6000mm（カスタマイズ可）
- 基板の厚さ: 3-19mm（カスタマイズ可）
- サイクルタイム: > 30s
- 超高真空度: < 2E-6mbar
技術的な特長
- 真空コンパートメント795mmは、ポンプ、ガス分離、カソードコンパートメントの位置の変更ができ、工程の柔軟性を向上させます。
- 新設計のガス分離装置は、カソードコンパートメント間のガス漏れを防止、より良いガス分離効果を図ります。
- アルミ押出管は磁石とヨークを冷却水から離すことで、長時間の水中浸漬による影響はありません。
- 5-9マニホールドガスシステム装備は、加工条件に対応します。
- サーボモーターによる高精度な搬送制御
- 出入り口の容積を小さくすることで、効率向上とコストの削減
- ガスマニホールド、コントローラー、電源供給用コネクションを一体型カソードリッドに収めることでプロセス構成をよりフレキシブルにします。
- 各カソードの独立制御システムの装備
- ワンピース蓋の設計は、より良い自動制御と機械的油圧リフトを容易にしました。
- 高度な磁気浮上式ターボ分子ポンプとスクリューラインポンプによる、オイル逆流防止、効率化、高い信頼性
技術パラメータ
| 基板 | フロートガラス、強化ガラス、合わせガラスなど | |
| 基板サイズ | 最大2540 × 3660mm（カスタマイズ可） | 最大3300 × 6000mm （カスタマイズ可） |
| 基板の厚さ | 3-19mm （カスタマイズ可） | |
| サイクルタイム | > 20s | > 30s |
| 超高真空 | < 2E-6mbar | |
| 実質稼働時間 | > 95% | |
| フィルムの均質性 | ≤ ± 1.0% | |
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