圧力センサー（容量性セラミック製ダイアフラム付きのセンサー）
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われわれがしたこのセンサーはなです。このセンサーはをわなくてもできます。プロセスがセラミックりのにします。とののキャパシタンスのはサイズにして、キャパシタンスのはレーザートリミングのにじにすることができます。ぎた、りはセラミックにしつけられますが、されません。がにった、がにできます。
したがって、セラミックがないシリコーンセンサーとして、におよびなの2つのなをし、およびをしむことができました。つのをけます。つまり、やいです。れたやをしております。また、それは、ほとんどのミディアムとすることができました。それはのことをする、こののはにされます。
このセンサーはなおよびをしております。にデザインされたASIC、-40~125℃のでをっております。それが2のなコンデンサー(co)およびキャパシタンス(cref)からされらコンデンサーをしたとともに、このセンサーはのやのエラーをすることができます。のがあります。
1. いなのキャパシタンス。
2. れたや。
3. りがりけに。
4. い。
5. 。
6. や。
このセラミックセンサーはをみません。をきこしません。また、りけのをけません。したがって、、の、、などのいでされた。
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